설비 제작 및 개발
반도체·디스플레이 설비에 사용되는 정밀 부품을 국내에서 직접 제작·개발합니다.
01
EFEM · Load Lock
반도체·디스플레이 설비용 EFEM, Load Lock, 로봇암 등 자동화 핵심 설비 제작.
02
Factory Automation
디스플레이 FA, 의료기기, 검사/적층 설비까지 다양한 분야 대응.
03
설비 사양
조립 300평, 클린룸 10,000 Class, 5ton 크레인, 150kw, Capa 10대(5×10m).
04
부설 연구소 R&D
에너지 절감형 설비, Leak Detection 등 신기술 자체 개발.
자동화 설비 제조 현장
주요 제품군
EFEMLoad LockTransfer ChamberRobot ArmAlignerFactory Automation검사/적층 설비의료기기 설비