고요가 개발 또는 제작 한 부품
L/L PRE HEATER
Energy Saving L/L Pre Heater
Ø300mm·알루미늄·온도 균일도 <1%. 저전력 에너지 절감 히터.
개발 완료
MEASUREMENT
Leak Detection & Classification
Gas Line Hookup 전 진공/N2 가압 Leak Check를 수행하는 측정 설비.
OEM 제작
VALVE
Symmetrical Valve
대칭형 구조의 고진공 밸브. 설비 신뢰성과 정밀 제어를 위한 차세대 부품.
개발 중
PLATFORM
Platform 기능 추가
고객 맞춤형 기능 추가 가능함.
상용화
설비 주요 부품 제작
QuartzQUARTZ RING / PART
BellowsVACUUM BELLOWS
Shower HeadSHOWER HEAD
Process ChamberPROCESS CHAMBER