반도체 CVD 탄화규소
핵심 부품 소재
㈜고요코퍼레이션은 선전 즈청 반도체의 한국 파트너사로서, CVD SiC 코팅·실체 SiC·소결 SiC 제품 및 TaC 코팅 제품을 공급합니다.
- 2017년 설립 · 400명 규모
- CVD 장비 자체 개발
- 중국 CVD SiC 부품 시장 점유율 1위
- ISO 9001 / 14001 / 45001 인증
㈜고요코퍼레이션
반도체 제조 전 공정에 걸쳐 사용되는 SiC 소재 부품을 제공합니다. 외연·식각·확산·열처리 등 주요 공정에 최적화된 제품 라인업을 갖추고 있습니다.
CVD SiC 코팅 제품
석 기재 위에 CVD 공법으로 SiC 또는 TaC 코팅층을 형성한 부품. Si / GaN / SiC 외연 및 결정 성장 공정에 사용됩니다.
CVD SiC 제품
CVD 장비로 성장시킨 실체 SiC 소재로 제작한 부품. 집적 회로 CCP 식각 장비의 핵심 부품으로 사용됩니다.
소결 SiC 제품
소결 공법으로 제작한 SiC 부품. 반도체 확산·산화·어닐링 공정의 열처리 장비에 사용됩니다.
반도체 집적 회로부터 광전자, 화합물 반도체, 태양광까지 폭넓은 산업에 공급합니다.
🏭 안정적 대량 생산
2023년부터 월 8,000건 이상 출하 체제 구축. 원자재 조달부터 CVD 장비까지 수직 계열화로 공급 안정성을 확보합니다.
🔬 맞춤 개발 서비스
고객사 Recipe에 맞춰 Susceptor 설계를 최적화. LED 외연편 수율을 경쟁사 대비 1.2%p 향상한 실적을 보유합니다.
⚡ 빠른 납기
표준 납기 45일로 고객 운영 비용을 절감합니다. 긴급 대응 및 전담 기술 지원팀이 상시 운영됩니다.
🇰🇷 한국 파트너 지원
㈜고요코퍼레이션이 국내 기술 상담, 견적, 납기 조율, A/S를 직접 지원합니다.
고객사의 실제 생산 공정에 투입된 검증된 실적입니다.
생산에 즈청 부품 적용
외연편 생산에 적용
시장 점유율 (2022년)
CVD SiC 시장 1위
자체 개발 CVD 장비로 구현한 고품질 탄화규소 특성입니다.
2017년 설립 이후 중국 CVD SiC 국산화를 주도해 온 성장 궤적입니다.